摘要
本申请公开了一种芯片封装结构的制作方法及芯片封装结构,涉及芯片封装技术领域。该方法包括提供一基板和一载板,载板具有贯穿载板的多个第一通孔和多个第二通孔;在基板的一侧形成多个第一导电柱和多个芯片组件,芯片组件包括芯片、位于芯片远离基板一侧的引脚以及与引脚电连接的第二导电柱;使第一导电柱穿过第一通孔,以及使芯片组件穿过第二通孔,以将载板邦定在基板上;在载板远离基板的一侧形成塑封层,塑封层覆盖多个第一导电柱和多个芯片组件;对塑封层进行研磨,以露出多个第一导电柱和第二导电柱。本申请可以使塑封层不容易产生凸起或者空洞,且使基板不容易产生翘曲,最终可以提高该芯片封装结构的性能。
技术关键词
芯片封装结构
芯片组件
导电柱
基板
载板
布线
通孔
芯片封装技术
制作方法制作
种子层
空洞
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