迈克尔逊干涉微小位移测量系统

本发明提供了一种迈克尔逊干涉微小位移测量系统，包括：采集干涉光强随时间变化的周期性信号，分析所述干涉光强变化周期与参考光路相位调制参数之间的关系，基于所述干涉光强变化周期对参考光路相位调制进行动态调控，根据调控后的参考光路相位信息计算被测物体的微小位移量，采用低通滤波器平滑输出以减少振荡风险，通过本公开实施例的方案，能够解决如何根据干涉光强变化周期对参考光路相位调制进行调控以解决环境振动引起的相位漂移问题。