一种基于两级驱动技术的材料微观三维模型构建装置及方法

本发明涉及材料成像设备技术领域，公开了一种基于两级驱动技术的材料微观三维模型构建装置及方法，包括磨抛机械臂第二级驱动装置，所述磨抛机械臂第二级驱动装置包括驱动位移输出结构和外部支撑机构：所述驱动位移输出结构内设驱动动力产生单元，所述驱动动力产生单元底部连接有中心施力平台，所述中心施力平台底部套有螺母与浮动连接件。本发明基于两级驱动的磨抛工艺以逐层采集样品二维图像，叠加软件最后将所有图像叠加生成样品微观三维模型，与现有技术相比实现了设备垂直位移行程2μm及以上，使材料样品在磨抛过程中垂直移动行程可实现原机械结构无法达到的10μm以下行程，所构建出的材料微观三维模型精度得到进一步提高。