一种晶圆校准方法、装置、设备及存储介质

本申请涉及一种晶圆校准方法、装置、计算机设备及存储介质。所述方法包括：基于旋转电机编码器的反馈值推算旋转平台的旋转角度；基于光学传感器获取晶圆边缘的测量坐标集合；基于旋转角度构建理论距离方程；将测量坐标集合按照均匀分段策列进行划分；基于渐进采样一致性算法筛选出数据子集；将数据子集输出至加权最小二乘法中进行拟合获取光学传感器与晶圆边缘的理论距离；获取光学传感器的实际距离；将数据子集重复进行基于渐进采样一致性算法筛选和基于加权最小二乘法中进行拟合直至所述理论距离和实际距离位于预设的误差范围内。采用本方法不受晶圆尺寸及缺口形状的限制；同时也减少了晶圆缺口和噪声数据对圆心拟合结果的影响。