人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法

本发明涉及太赫兹波检测成像技术领域，具体涉及一种人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法，包括：飞秒激光器、分束镜、斩波器、激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器、透反射一体自动化扫描探测模块、太赫兹探测装置以及人工智能增强的测厚模块和人工智能增强的缺陷检测成像模块；飞秒激光器发射的激光由分束镜产生泵浦光和探测光，泵浦光依次经过激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器、透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置；探测光经过透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置，太赫兹探测装置输出太赫兹脉冲形状，最终获取样品厚度或缺陷轮廓；本发明能够提高样品缺陷检测效率，降低成本。