一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法

本发明属于智能控制技术领域，本发明提供了一种晶圆盒装载端口的控制系统及方法，若吸接面积与下垂距之间的关联较为紧密，则获取关联调整系数，得到吸盘调整数量，并分析多次历史拿取过程中的吸盘分布策略是否合理，若不合理，则依据吸盘调整数量，对吸盘的分布进行调整，构建吸盘分布图，一方面，通过调整吸盘与薄晶圆中心之间的距离，降低边缘吸盘在拿取过程中出现薄晶圆发生倾斜的概率，另一方面，通过调整吸盘在薄晶圆上的周向角度，使得吸盘在薄晶圆上的周向角度分布均匀，避免影响吸盘在拿取薄晶圆过程中的稳定程度，降低在拿取薄晶圆过程中出现与相邻薄晶圆发生碰撞的概率。