模拟仿真方法和装置、电子设备和存储介质

本公开提供一种模拟仿真方法和装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。模拟仿真方法包括：确定目标器件的化学气相沉积过程的预测数据，目标器件包括目标表面，预测数据包括目标表面中的多个表面节点各自的预测沉积速率，预测数据是通过稳态的CFD仿真过程得到的；基于多个表面节点各自与目标表面的中心节点之间的距离，对多个表面节点进行划分得到多个点集，多个点集各自对应的距离区间互不重叠；基于多个点集各自包括的表面节点的预测沉积速率，确定多个点集各自对应的平均沉积速率；基于多个点集各自对应的平均沉积速率、以及多个点集各自对应的距离区间，得到目标器件的化学气相沉积过程的仿真结果。