预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备

本申请提供了一种预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备，以实现对沉积厚度的预测，为优化化学反应过程及优化反应腔的结构设计提供重要的依据，以提高实际生产中靶材的沉积厚度的均匀性。预测沉积厚度的方法包括对三维模型进行网格划分，得到网格化模型；将网格化模型导入数值求解器，并对数值求解器中的工作条件、湍流模型、能量模型和辐射模型进行设定；对瞬态求解器中的计算条件进行设定，计算条件包括沉积时间、时间步长和最大迭代次数；进行迭代求解，并对迭代求解的结果进行处理，得到靶材的沉积厚度。通过对网格化模型进行瞬态求解，可以实时计算不同时刻流场和化学反应的状态，进而实现对沉积厚度的预测。