一种前驱体的充装及取样分析系统

本申请提供了一种前驱体的充装及取样分析系统，涉及检测技术领域，包括：采集模块、取样与检测模块和分析模块。采集模块在获取前驱体前对系统管路和容器进行预处理，生成预处理结果，并在满足预设条件后获取待分析前驱体。取样与检测模块对待分析前驱体进行在线检测，生成包括颗粒物信息的第一数据和流体状态的第二数据的实时异构数据流。分析模块识别并标记第一数据中的异常数据点，基于异常数据点周围的第一数据与发生前的第二数据构建因果关联邻域，提取多维物理特征，并据此计算伪影置信权重。当置信权重高于预设阈值时，将异常数据点重建为基线噪声值，修正实时异构数据流，并基于修正数据生成前驱体质量分析结果。