一种磁悬浮轴承的位移检测装置、磁悬浮轴承系统

本发明公开了一种磁悬浮轴承的位移检测装置、磁悬浮轴承系统及其位移检测方法，磁悬浮轴承位移检测装置包括位移检测传感器及位移计算模块，位移检测传感器包括探头和检测电路，探头包括动子永磁体和定子永磁体，探头中动子永磁体随转子移动、定子永磁体检测转子在轴向和径向的位移，与定子永磁体连接的弹性元件在动子永磁体与定子永磁体之间的磁力作用下发生形变，检测电路将弹性元件的形变信号转为电压信号，位移计算模块根据电压信号算出转子位移。该方案，通过永磁体的磁力驱动弹性元件形变实现转子的位移检测，优化线性度，解决了电感式传感器量程偏小、线性度差的问题，实现了高灵敏度与较大测量范围的结合，检测精度高。