一种超表面分束器及其制作方法

本发明公开了一种超表面分束器及其制作方法，超表面分束器包括基底及多个纳米圆柱；各纳米圆柱具有位于轴向两端的连接端及入光端，连接端连接于基底，多个纳米圆柱位于基底的同侧，并呈阵列间隔分布，且在光束进入入光端时引导光束进入基底，并经由基底输出准直及分束后的光束。本方案不需要精确控制每个纳米圆柱的旋转角度来获得所需的相位变化，降低制造难度和成本，加工时不再需要担心纳米圆柱方向的对准误差，工艺更稳定，良品率更高，适合大规模生产，且无论是圆偏振光、部分非偏振管、还是任意方向的线偏振光，纳米圆柱均能较好的工作，将光有效的分束到目标方向，光源选择更灵活，适应性更强。