一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质

本申请涉及半导体制造的技术领域，公开一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质，方法包括：获取气浮平台的目标姿态数据，基于传感器采集获得气浮平台的当前姿态数据；根据目标姿态数据分解出多个目标高度数据，根据当前姿态数据分解出多个当前高度数据；其中，每个目标高度数据与每个当前高度数据一一对应，并一一对应于气浮平台的气浮隔振器；遍历每个气浮隔振器，计算当前高度数据和目标高度数据之间的高度差值数据；若高度差值数据大于预设的参考差值数据，则根据高度差值数据使用PID算法计算出当前气浮隔振器的内压调节值；根据内压调节值调节当前气浮隔振器的内压。本方法可实现自动调高，提升气浮平台调高的及时性和准确性。