一种用于制备原位加热透射电镜样品的方法及相关设备

本发明公开了一种用于制备原位加热透射电镜样品的方法及相关设备，包括：步骤1，将半圆形透射电镜样品放入透射电镜选取感兴趣的区域；步骤2，将半圆形样品在聚焦离子束设备中找到步骤1中的感兴趣区域；步骤3，将步骤2中的感兴趣区域使用聚焦离子束进行U形切割；步骤4，将步骤3中的待提取区域使用纳米机械手进行提取；步骤5，将步骤4中提取的样品转移到原位加热芯片的观察区域并固定，完成原位加热透射电镜样品的制备。本发明的方法，能够保证原位加热实验观察区域有高质量薄区，可提高样品制备的成功率。