摘要
本申请公开了一种旋转整流芯片及生产方法,涉及芯片生产领域,涵盖了从制备衬底层、形成PN结、制作金属电极、钝化保护、晶圆减薄与切割,直至最终的芯片测试与分选的全流程。在芯片测试与分选环节,融入了先进的良率管理与故障诊断机制。使得不再仅仅依赖人工对晶圆图进行目视检查和经验判断,而是通过对测试结果进行智能分析,尤其是在晶圆良率低于预设阈值时,能够自动构造晶圆图图像矩阵,并基于此进行良率空间分布图的模式识别与归因。这种数据驱动的分析方式,能够高效、客观地识别出具有特定空间模式的失效点,从而显著提升了旋转整流芯片的生产效率和产品良率。
技术关键词
旋转整流器
芯片
N型单晶硅片
空间分布特征
PN结
衬底层
矩阵
模式识别
图像
制作金属电极
纹理特征
归因
故障知识库
良率
离子注入工艺
涂覆光刻胶
基底层
高风险
二氧化硅
系统为您推荐了相关专利信息
注意力机制
金字塔网络
芯片表面缺陷检测
分辨率
通道
电压电流转换电路
电流电压转换电路
电压采集电路
隔离电路
交流电源