一种双向离轴对位偏差量测方法、系统及离轴标记

本申请公开一种双向离轴对位偏差量测方法、系统及离轴标记。通过调整成像装置的光轴与待测样品在X轴或Y轴的相对位移，由成像装置拍摄得到目标标记图像、第一参考标记图像和第二参考标记图像；目标标记位于待测样品的目标对位单元。基于目标标记图像和第一参考标记图像，计算目标对位单元在待测样品的X轴对位偏差；基于目标标记图像和第二参考标记图像，计算目标对位单元在待测样品的Y轴对位偏差。本申请技术方案不需要改造硬件平台，降低离轴对位偏差量测成本，具有更高的量测精度。并且，该技术方案的实施，不影响硬件平台实现常规的同轴对位偏差量测，具有更强的场景适用性。