光学邻近校正模型的校准方法、电子设备及存储介质

本公开的实施例涉及光学邻近校正模型的校准方法、电子设备及存储介质。该方法包括：基于版图中预定图形的仿真图形和对应于预定图形的晶圆图像确定光学邻近校正OPC模型的成本函数的值，其中沿预定图形的第一方向以及与第一方向非垂直的第二方向设置的标尺被赋予比其余方向的标尺更大的权重，第一方向为水平或者竖直方向；基于成本函数的值对OPC模型进行迭代以更新模型参数；以及响应于迭代满足预定条件，将对应的OPC模型确定为经校准的OPC模型。本公开的技术方案能够显著改善模型的仿真图形的轮廓出现方形的现象，从而提高仿真精度。