一种基于荧光增强显影法的等离子体分布检测方法及其装置和应用

本发明提出了一种基于荧光增强显影法的等离子体分布检测方法及其装置和应用，属于等离子体诊断与光学成像技术领域。包括以下步骤：（1）制备包含荧光探针分子和聚甲基丙烯酸甲酯复合成膜材料的混合溶液；（2）将所述混合溶液旋涂覆盖于目标基底表面，形成探针响应膜；（3）使用低温大气压等离子体射流作用于所述混合溶液，激发其中荧光分子的响应反应；（4）通过紫外光照射荧光膜，诱导其发出荧光信号；（5）使用成像系统采集荧光图像并分析其强度与分布，实现等离子体空间特征的可视化检测。本发明方法具有非接触、可视化、高空间分辨率和低成本的显著优点，具备广泛的产业应用前景。