一种高产能边缘曝光系统及其方法

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一种高产能边缘曝光系统及其方法
申请号:CN202511223188
申请日期:2025-08-29
公开号:CN120891704A
公开日期:2025-11-04
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种高产能边缘曝光系统及其方法,包括机架,所述机架安装有底板,所述底板安装有第一寻边机构和第二寻边机构,所述第一寻边机构和第二寻边机构对称设置,所述底板位于第一寻边机构和第二寻边机构之间安装有光源组件。本发明,两套寻边机构可实现不间断作业,同时运转平移系统具有缓冲工位,可以实现其双工位系统可以不间断的进行边缘曝光作业,可以达到更高的产能,光源的利用率大幅提高;且双工位作业提高产能的同时,提高机台节拍,在同等时间内做更多的产品,提高了光源的利用率,且节约机台占用空间。
技术关键词
边缘曝光系统 直线模组 暂存平台 顶升底板 旋转组件 边缘曝光方法 光源组件 晶圆 升降装置 曝光工艺 边缘曝光机 工位 掩膜板 曝光作业 光强传感器 机器人 平移系统
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沪ICP备2023015588号