一种高产能边缘曝光系统及其方法

本发明公开了一种高产能边缘曝光系统及其方法，包括机架，所述机架安装有底板，所述底板安装有第一寻边机构和第二寻边机构，所述第一寻边机构和第二寻边机构对称设置，所述底板位于第一寻边机构和第二寻边机构之间安装有光源组件。本发明，两套寻边机构可实现不间断作业，同时运转平移系统具有缓冲工位，可以实现其双工位系统可以不间断的进行边缘曝光作业，可以达到更高的产能，光源的利用率大幅提高；且双工位作业提高产能的同时，提高机台节拍，在同等时间内做更多的产品，提高了光源的利用率，且节约机台占用空间。