介质扫描检测装置及方法

本公开提供一种介质扫描检测装置及方法，涉及微纳加工技术领域，装置包括：位移台，用于承载并移动模板，模板上形成有微纳图形；第一光源，用于产生多波长混合光；面阵光谱仪，用于对接收的第一光信号进行成像，得到第一高光谱图像，第一光信号为多波长混合光照射填充有待测介质的微纳图形后形成的包含待测介质的空间分布信息和光谱信息的光信号；控制系统，用于控制位移台、第一光源以及面阵光谱仪，并基于目标深度学习网络模型对第一高光谱图像进行图像分割，基于图像分割结果确定待测介质的填充状态。