光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备

本申请公开了一种光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该光学邻近效应修正方法包括根据预设规则在通孔层的目标图形周围放置SRAF；对目标图形进行OPC修正，生成初始修正图形；获取每个目标图形与对应初始修正图形之间的第一距离，以及每个目标图形与对应SRAF之间的第二距离；将第一距离和第二距离作为优化变量，并基于第一距离构建目标函数；基于目标函数，采用遗传算法对优化变量进行迭代求解，得到目标参数组合；根据目标参数组合生成修正版图。本申请实施例可以提高SRAF放置与OPC修正的效率。