一种电子束缺陷检测分类方法、装置、设备、介质和程序产品

本申请涉及缺陷检测技术领域，特别是涉及一种电子束缺陷检测分类方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取检测图像以及参考图像；比对像素差值，确定候选缺陷点；基于预构建的分类模型对候选缺陷点对应的图像区块进行分类处理，分类至无缺陷块、有缺陷块以及弱缺陷块；基于预构建的第一检测模型对有缺陷块以及弱缺陷块进行缺陷检测，获取第一缺陷信息；基于预构建的第二检测模型对在第一检测模型中未检测出缺陷的有缺陷块以及弱缺陷块进行缺陷检测，获取第二缺陷信息，第二检测模型的缺陷检测阈值低于第一检测模型；输出目标对象的缺陷检测结果。采用本方法能够提高电子束缺陷检测分类的效率和检测结果准确度。