摘要
本发明提供了tray盘上下料机、芯片测试设备及控制方法,涉及芯片测试技术领域。中转盘能够受控地在第一中转通道的第一上下料位置和第二中转通道的第二上下料位置之间移动。中转盘具有用于盛放待测芯片的第一区域和用于盛放已测芯片的第二区域。上料搬运装置的第一取料机构受控地将上料位处的上料tray盘内的待测芯片搬运至中转盘上的第一区域内,下料搬运装置的第二取料机构受控地将中转盘上的第二区域内的已测芯片搬运至下料通道的下料tray盘上。上述技术方案采用一个中转盘对待测芯片和已测芯片进行搬运,在进行上料的同时可以进行下料,可以减少输送次数,从而提高芯片的测试效率。
技术关键词
芯片测试设备
取料机构
切换设备
上料搬运装置
通道
视觉检测机构
芯片检测装置
承载件
下料翻转机构
上料翻转机构
密封门
tray盘
翻转组件
测试座
承载待测芯片
分支