摘要
本申请提供了一种芯片传输机构及其控制方法和芯片测试设备,属于芯片测试技术领域。该机构包括:密封中转装置,内部设有容置腔且在侧壁处设有与容置腔连通的外部进出口、第一内部进出口和第二内部进出口;各个进出口处分别设置有可受控的开闭的第一密封门、第二密封门和第三密封门;内部传输线,包括分别与第一内部进出口和第二内部进出口对接的第一内部传输线和第二内部传输线;外部传输线,与外部进出口对接;密封中转装置与内部传输线布置于芯片测试设备的测试环境中;外部传输线布置于非测试环境中;充气组件,用于对容置腔填充干燥空气;抽气组件,用于对容置腔进行抽真空。本申请能够在保证芯片密封测试设备密封性的同时提高芯片传输效率。
技术关键词
传输机构
芯片测试设备
中转装置
密封门
抽气组件
充气组件
待测芯片
密封测试设备
芯片测试技术
抽真空
传输线路
测试机
空气
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