一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人

本发明提供了一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人，其中该机械手包括：手指基座、伸缩器、推杆、除尘组件，其中所述手指基座上设有设备腔，所述设备腔一侧设有轴孔，所述除尘组件包括：吸尘件、气管，所述吸尘件内设有吸尘腔，所述吸尘件上分别设有贯穿吸尘腔的净化孔，及与吸尘腔连通的吸尘口，其中所述吸尘件设置在轴孔处，所述净化孔与轴孔连通，所述伸缩器设置在设备腔内，所述推杆穿过轴孔、净化孔与伸缩器驱动端连接，所述气管与吸尘口连通并接入负压源，经净化孔在推杆周向形成负压屏障封闭轴孔。籍此防止碎屑颗粒污染物自机械手内腔外泄。