一种基于多模态大语言模型的光学邻近效应修正方法及系统

本发明公开了一种基于多模态大语言模型的光学邻近效应修正方法及系统，所述方法包括：对预先采集到的多模态的样本数据进行预处理，将其转换为大语言模型能够识别的词向量；对预处理后的多模态样本数据进行特征融合处理，得到多模态融合特征；将经过预处理的多模态样本数据及所述多模态融合特征输入到大语言模型中进行训练，得到可根据初始的掩模图案、光学仿真数据和工艺参数数据自动生成OPC掩模图案的OPC生成模型。采用本发明的技术方法，可提高高复杂度OPC优化问题的处理能力。