摘要
本发明公开了一种芯片自动分选设备,属于芯片分选技术领域。包括分选平台、龙门架、收料料仓、晶圆料仓、晶圆环拉料模块、晶圆载台、扩膜顶针组、放料载台、移栽单元和料盘摆渡单元,所述龙门架固定于分选平台顶面后侧;所述收料料仓固定于分选平台顶面前侧;所述晶圆料仓固定于分选平台顶面前侧;所述晶圆环拉料模块与晶圆料仓出料端对接;所述晶圆载台固定于晶圆环拉料模块边侧,且设置于晶圆环拉料模块行进路径上;所述晶圆载台上方设置有取料相机;所述扩膜顶针组固定于晶圆载台顶面中部;所述放料载台设置于晶圆载台边侧;本发明的芯片自动分选设备,通用性强且能够实现芯片分选,转移至排布至料盘。
技术关键词
分选平台
分选设备
料仓
晶圆载台
龙门架
收料
芯片分选技术
升降滑台
直线滑台
相机
顶针
模块
料盘
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