用于片上电流测量的霍尔电流传感器及其制造方法

本发明的实施例提供了一种用于片上电流测量的霍尔电流传感器及其制造方法，属于半导体磁传感的技术领域。霍尔电流传感器包括：两个霍尔单元，成对贴靠布置在电流排上方表面的两侧，每个霍尔单元是至少一组霍尔阵列；第一聚磁部，其两端分别设置在两个霍尔单元的上磁感应面上；第二聚磁部具有凹型截面包裹电流排且其两端分别设置在两个霍尔单元的下磁感应面上；第一聚磁部与第二聚磁部在对应磁感应面投影的重叠部分位于两个霍尔单元霍尔敏感区；电流磁场经第一聚磁部和第二聚磁部聚磁形成穿过霍尔敏感区的磁通回路使霍尔单元感测磁场并通过电路转换为信号输出。本发明的霍尔电流传感器高效集中电流磁场避免趋肤效应对电流测量的影响。