一种真空腔体保压测试与漏率快速估算方法及系统

本发明公开了一种真空腔体保压测试与漏率快速估算方法及系统，该方法包括：通过公共计量歧管与多通隔离阀实现多区段的测试准备，并建立区段体积数据库；通过抽气至预设压力并隔离泵端，以固定采样周期同步采集压力与温度数据；通过温度归一化与放气基线扣除，结合滤波与回归算法获得等效压力变化率，并换算得到标准化漏率；通过分段二分隔离策略与体积修正，对腔体各功能区段进行逐级检测，实现可疑泄漏区段的快速定位；通过预警阈值与不合格阈值的双阈值判定，自动生成检测报告并写入历史数据库，形成检测—判定—维护的闭环。本发明能够提高漏率检测的精度，适用于真空镀膜设备、半导体工艺装备及工业真空处理装置。