一种应用于退火炉的能耗控制方法及系统

本发明公开了一种应用于退火炉的能耗控制方法及系统，涉及退火炉控制技术领域，本发明通过确定若干个热区的位置信息，构建热区状态矩阵；构建相邻热区耦合强度模型，计算各个相邻热区之间的耦合强度，并构建耦合强度标准矩阵；构建训练样本并基于最小二乘法拟合第一补偿因子公式；统计每个目标热区的相邻热区集合，根据耦合强度计算热扰动影响权重，采集相邻热区的温度变化值，构建第二补偿因子；获取退火炉实时运行参数并输入至温度预测模型，计算出第一补偿因子和第二补偿因子，并计算中央控制系统执行的温控设定值，提升退火炉系统的节能水平、温控稳定性与工艺适配能力。