一种用于芯片制造的锡焊真空炉

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一种用于芯片制造的锡焊真空炉
申请号:CN202511241581
申请日期:2025-09-02
公开号:CN120715332B
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,具体是指一种用于芯片制造的锡焊真空炉,它包括真空炉本体,真空炉本体下方设有底座架,底座架两侧设有第一气缸,第一气缸上设有气动伸缩杆,两个所述气动伸缩杆的伸缩端与真空炉本体的底部固定连接,底座架上固定安装有双层支架,双层支架可在真空炉本体内上下移动,双层支架内设有恒定压芯装置,恒定压芯装置的一侧设有摆动涂料刷,双层支架底部旋转连接有间歇旋转托盘,间歇旋转托盘下方设有间歇旋转托架,所述间歇旋转托架内设有与间歇旋转托盘底部固定连接的间歇旋转机构。本发明的一种用于芯片制造的锡焊真空炉,具有更好的散热效果,对不同高度或厚度的芯片进行固定,不会将芯片或基板破坏。
技术关键词
双层支架 真空炉 旋转托盘 压芯装置 间歇旋转机构 旋转托架 锡焊机器人 底座架 气动伸缩杆 弹簧阻尼器 外壳体 涂料刷 芯片封装技术 炉体 安装槽 限位轴 气缸 封装基板 卡块
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