一种模拟扫描电子显微镜的仿真图像生成方法及相关设备

本申请提供一种模拟扫描电子显微镜的仿真图像生成方法及相关设备，方法包括：基于真实晶圆的扫描电子显微镜图像数据，分别构建第一成像特征映射表以及第二成像特征映射表；基于两个成像特征映射表分别制作标准成像脚本和缺陷成像脚本；获取晶圆三维模型并解析各结构单元中相关联的工艺属性信息；基于工艺属性信息确定对应的标准成像脚本，对结构单元进行表面特性调整，以生成无缺陷仿真模型；根据预设的缺陷引入条件确定对应的缺陷成像脚本，并在指定的结构单元上添加缺陷，生成带缺陷仿真模型；最后生成模拟扫描电子显微镜的仿真图像。通过虚拟仿真手段批量制造高仿真的扫描电子显微镜图像，提升了仿真图像数据集的多样性与覆盖度。