一种晶圆缺陷检测方法及检测装置

本发明公开的一种晶圆缺陷检测方法及检测装置，包括将样品放置在镂空载具上，并调整镂空载具角度使样品保持水平；根据样品厚度调整远心镜头的高度与角度，远心镜头为3倍红外镜头，对远心镜头进行调焦处理，使成像区域居中；在样品上方设置三个相机，相邻相机进行位置标定，使视野重合；基于XY平台调整样品位置至测量初始点，XY运动平台按照预设的运动方式带动样品移动，相机扫描样品，并同步采集图像，得到原始缺陷图集；基于图像处理算法对原始缺陷图集中的每个图像分层切割后进行X方向修正拼接，并进行去噪滤波二值化处理，得到每层的缺陷分布图，并输出缺陷信息汇总表；本申请可实现同时观察晶圆片上下表面和内部的缺陷，提高检测效率。