一种芯片制造中的光刻机装置及系统

本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种芯片制造中的光刻机装置及系统，其中一种芯片制造中的光刻机装置包括光刻机本体，所述光刻机本体中固定设置有光刻承载台，所述光刻承载台上放置有硅片密封承载组件，通过硅片密封承载组件进行硅片转移时的密封，光刻机本体的内部安装有承载组件固定机构，通过承载组件固定机构对硅片密封承载组件进行固定，本发明还涉及一种控制系统，包括中央处理器模块、控制模块和位置检测模块，中央处理器模块通过控制模块控制电动伸缩杆进行伸缩，位置检测模块监测到移动承载板的位置后将数据传输给中央处理器模块，中央处理器模块再通过控制模块控制电动伸缩杆停止伸缩。