摘要
本申请实施例提供一种气体检测系统,旨在实现同时对多元气体的浓度的检测,提高了气体检测系统的检测效率。本申请提供的气体检测系统中,气体富集芯片位于检测室内,气体富集芯片包括多个微型富集单元,不同微型富集单元分别用于吸附检测室中的不同的气体,微型富集单元还用于将吸附的气体再次释放至检测室中;气体检测芯片也位于检测室内,气体检测芯片包括多个微型半导体气体传感器,多个微型半导体气体传感器分别用于检测不同的检测室中的气体。对于低浓度气体的检测需求,气体富集芯片将预富集的气体快速释放到密闭的微型检测室内,气体检测芯片对气体进行检测,以实现同时对不同气体的浓度的检测,提高了气体检测系统的检测效率。
技术关键词
气体检测系统
半导体气体传感器
检测芯片
微电子机械系统芯片
富集
注射器
气体敏感材料
多孔聚合物树脂
吸附材料
二氧化锡
活性炭材料
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氧化钴
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