一种带熔断锁销装置的电容反馈双级杠杆MEMS安保装置

一种带熔断锁销装置的电容反馈双级杠杆MEMS安保装置，包括下安保芯片和与之连接的上安保芯片，利用电热执行器对硅挡板的运动进行控制，实现对起爆能量的控制；同时，设置了多种机构提升装置整体刚度，避免可能出现的因隔板被冲开导致的装置失效情况；此外，引入了反馈功能，通过测量电容来实现对MEMS安保装置工作状态的实时反馈；具备智能化、安全化、微型化的优点。