MEMS探针式传感器末端组装微针的显微自动操作系统及方法

一种MEMS探针式传感器末端组装微针的显微自动操作系统及方法，显微操作系统连接在隔振台上，显微操作系统和总控装置连接，总控装置和上位机连接；显微自动操作方法通过双轴电动载物台对微针进行位置调整，通过玻璃弯管及双轴电动载物台对微针进行接触式平面姿态调整，通过第二电动机械臂对传感器进行按压式空间位姿调整，通过第一电动机械臂和第二电动机械臂采用自对中装配方法完成传感器末端与微针的无损装配；本发明实现自动化、高精度、无损的MEMS探针式传感器末端微针组装，提高MEMS探针式传感器的末端空间分辨率，实现MEMS探针式传感器末端的绝缘化，进而拓展了MEMS探针式传感器的应用范围。