一种三轴霍尔磁传感芯片及霍尔磁传感器

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一种三轴霍尔磁传感芯片及霍尔磁传感器
申请号:CN202511261235
申请日期:2025-09-05
公开号:CN120779303B
公开日期:2025-11-25
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种三轴霍尔磁传感芯片及霍尔磁传感器,包括:聚磁体和相互间隔且平面布置的第一霍尔元件组和第二霍尔元件组,聚磁体设置在霍尔元件之上,其在霍尔平面上的正投影具有正交的第一方向对称轴和第二方向对称轴,第一霍尔元件组包括磁感应中心位于第一方向对称轴上且关于第二方向对称轴对称设置的,以反差分方式连接的两个第一霍尔元件,第二霍尔元件组包括位于第一方向对称轴的同一侧且关于第二方向对称轴对称设置的两个第二霍尔元件,该两个第二霍尔元件的磁感应中心与第一方向对称轴和第二方向对称轴的正交交点之间的连线相互垂直,聚磁体位于该两个的磁感应中心连线的一侧。本申请实现高轴间信号抑制比,且能直接输出Z轴信号。
技术关键词
霍尔元件 聚磁体 霍尔磁传感器 对称轴 工作电极 芯片 运算电路 封装体 连线 电压 信号 光刻工艺 正多边形 金属线 电路板 共线
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