一种基于Stewart结构的六维力传感器

本发明涉及力传感器技术领域，公开一种基于Stewart结构的六维力传感器，包括沿所述第三方向同轴设置且依次间隔叠置的顶盘、中盘及底盘；第一预紧杆；四个平面力敏感杆，其内设有平面力敏感芯体；竖直力敏感杆，其内设有竖直力敏感芯体；四个平面力矩敏感杆，其内设有竖直力敏感芯体；两个竖直单芯敏感杆，其内设有竖直单芯体；平面力敏感芯体、竖直力敏感芯体、第一力矩敏感芯体及竖直单芯体均为芯片式力敏芯体。本发明公开的基于Stewart结构的六维力传感器，采用芯片式力敏芯体实现了六维力检测，从根本上解决了应变片传感器存在显著的温度漂移、重复性差及长期蠕变等问题，还通过改进结构，消除了多维信号间的交叉干扰。