一种真空镀膜自动装卸系统及其控制方法

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一种真空镀膜自动装卸系统及其控制方法
申请号:CN202511270581
申请日期:2025-09-08
公开号:CN120738618A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种真空镀膜自动装卸系统,包括活动工作台,所述活动工作台上安装有机械臂,还设置有用于存放周转架的空架堆叠区和待用架堆叠区,所述机械臂的执行端设有真空吸盘,所述周转架顶面设有用于盛放夹具组件的若干放置孔,所述夹具组件能嵌入镀膜机伞盘的槽孔或从中取出,所述夹具组件包括托盘及盖板,所述托盘内开有若干用于容纳待镀膜的镜片基片的镀膜槽,所述镀膜槽的底部贯通,所述盖板与所述托盘为可拆卸连接。本发明通过夹具组件的托盘及盖板配合保证镜片基片位于夹具组件内部,只有镜片基片需要镀膜的面以朝下的形式暴露,又通过堆叠周转架实现在镀膜前后对镜片基片暴露面的无尘防护,减少镜片基片在转运过程中受环境影响的风险。
技术关键词
自动装卸系统 镜片基片 真空镀膜 夹具组件 活动工作台 镀膜机 周转架 真空吸盘 托盘 机械臂 旋转臂 升降平台 夹具托板 高清摄像头 万向滑轮 带刹车 伞盘
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