摇臂孔径、厚度质量在线监测系统

本发明公开了摇臂孔径、厚度质量在线监测系统，包括封装基座、测头库模块，高精度三轴驱动模块、接触式测量探头、信号接收与数据采集模块、中央处理与控制单元；采用直接接触式测量和高精度光栅闭环反馈，其测量精度，特别是对圆度、圆柱度等几何公差的测量能力，为工艺优化与设备维护提供深度数据支撑，内置SPC统计分析功能，能实时监控质量趋势，在尺寸出现漂移但尚未超差时发出预警，实现预测性质量控制，从源头防止批量废品的产生，通过测头库和机器人自动换刀技术，一套系统可轻松应对多种产品型号的混线生产，切换速度快，自动化程度高，极大节省人力并杜绝人为误差。