基于双法布里-珀罗腔的光学传感系统

本申请公开了一种基于双法布里‑珀罗腔的光学传感系统，包括：激光模块、主光路模块和参考光路模块；其中，激光模块用于产生两束激光，分别进入主光路和参考光路；参考光路模块用于提供光源波动参考信号，以供噪声补偿；主光路模块包括：双法布里‑珀罗腔传感单元、全反射镜、聚焦透镜、光栅光谱仪、光学探测器和信号处理单元。主光路模块中的双法布里‑珀罗腔传感单元采用新型微半球双腔干涉结构，结合同步解算方法测试温度和压力变化。本申请所提供的技术方案能够通过优化腔体结构设计、深化气体介质与物理量的耦合效应、引入高精度解耦算法及噪声抑制机制，实现温度与压力的同步高精度测量，满足复杂严苛场景的应用需求。