一种基于薄膜变形镜波前补偿的自由曲面非零位干涉检测装置和方法

本发明公开了一种基于薄膜变形镜波前补偿的自由曲面非零位干涉检测装置和方法。该装置包括激光源、偏振调控模块、薄膜变形镜面型控制与监测模块、干涉测量模块、数据处理与控制模块。控制与监测模块闭环调整变形镜面型，实现高精度波前补偿；在干涉测量模块，参考光由激光准直生成，测量光经变形镜与待测自由曲面调制后与参考光形成干涉，提取四帧45°相位差的移相干涉图，结合算法得到补偿后面型数据；将该数据与变形镜面型数据点对点相减，获取待测自由曲面面型，完成高精度检测。有效解决自由曲面检测中像差导致的干涉条纹对比度低、无法分辨问题，提升大曲率、大倾斜自由曲面检测精度与效率，适用于高精度自由曲面光学元件检测场景。