基于多模态传感的晶圆切割裂纹实时抑制方法及其系统

本发明涉及晶圆切割裂纹实时抑制技术领域，具体涉及基于多模态传感的晶圆切割裂纹实时抑制方法及其系统，系统在切割区域内安装声发射传感器和红外热像仪，用于采集切割过程中的声发射信号和温度信号，通过处理这些信号，提取出声发射特征曲线以及温度变化值；利用这些特征构建双向长短时记忆神经网络模型，预测晶圆切割过程中的裂纹风险，根据预测的裂纹风险，系统自适应地调节切割参数，如切割速度和线锯张力，以实现裂纹的实时抑制；这种方法通过多模态传感融合，提供了更全面的切割状态感知，能够捕捉到裂纹形成的早期征兆，为准确预测裂纹风险提供了可靠的基础。