可裂片的立式炉系统

本发明公开可裂片的立式炉系统，所述可裂片的立式炉系统定义一热处理区、一裂片区、与所述热处理区连通的一进口以及与所述裂片区连通的一出口，所述裂片区与所述热处理区相邻设置，且相互连通，所述可裂片的立式炉系统包括至少一立式炉、至少一裂片组件以及晶圆传输组件，所述立式炉用以对晶圆进行热处理，所述裂片组件用于对经由所述立式炉热处理后的所述晶圆进行裂片，所述晶圆传输组件被配置为可自动地将晶圆从所述进口传输至所述热处理区的所述立式炉进行热处理，且在晶圆被所述立式炉热处理后，自动地将所述晶圆传输至所述裂片区，并将裂片后的晶圆自所述出口送出。本发明有助于提升设备产出率，减少晶圆污染，降低客户设备成本。