一种用于纠正硅片位置偏移的检测系统及其检测方法

本发明公开了一种用于纠正硅片位置偏移的检测系统及其检测方法，涉及硅片位置偏移检测技术领域，该用于纠正硅片位置偏移的检测系统，包括载物组件，所述载物组件的外部设置有支撑架，所述支撑架的一端设置有驱动电机，且驱动电机带动载物组件转动，所述支撑架的另一端设置有稳定组件，所述载物组件的后端设置有移动组件，所述移动组件包括安装架和Z轴滑轨，本方案解决了现有硅片的放入位置与曝光位置并不是完全契合的，硅片在移载的运动过程中会产生晃动及振动，使硅片产生移位偏差，容易导致硅片在经过运动后到达曝光位的静止位置，会偏离曝光结构的起始位置，这就造成曝光位置错误而无法实现曝光的问题。