一种COC脉冲加热共晶机及使用方法

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一种COC脉冲加热共晶机及使用方法
申请号:CN202511289287
申请日期:2025-09-10
公开号:CN120784193A
公开日期:2025-10-14
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种COC脉冲加热共晶机及使用方法,其中一种COC脉冲加热共晶机,包括操作台,所述操作台上部两侧分别设置有蓝膜片移动组件,所述操作台的上部后端设置有支撑架,所述支撑架上滑动设置有蓝膜片载体上的芯片进行转移的芯片移动组件;检测组件,设置在所述支撑架上;脉冲加热平台,包括设置在所述操作台上用于承接芯片的多维定位组件、用于芯片与母片共晶加热的陶瓷脉冲加热器和用于承载芯片与母片的承载台,所述陶瓷脉冲加热器设置在所述多维定位组件上,所述承载台设置在所述陶瓷脉冲加热器上。本申请在一次共晶工作过程能移动多种规格的芯片,高效地将多种规格的晶片吸附移动到脉冲共晶加热台完成多种规格芯片的共晶作业。
技术关键词
共晶机 芯片移动组件 承载台 真空吸附管 脉冲 操作台 加热平台 检测组件 膜片 定位组件 吸附盘 液氮 加热器 冷却组件 顶针组件 陶瓷
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