应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统

本发明涉及晶圆塑封技术领域，尤其涉及一种应用于液态树脂晶圆塑封的工艺优化方法及系统，包括：获取液态树脂初始特性、释放膜初始状态以及晶圆尺寸结构特征；基于液态树脂初始特性和释放膜初始状态，确定释放膜预热控制参数，并以此进行预热工序；在预热工序结束后，对释放膜目标区域进行特征识别，获得释放膜表面特征以及目标区域尺寸特征；对释放膜表面特征、目标区域尺寸特征以及液态树脂初始特性进行流动性模拟，并根据流动性模拟结果，确定挤胶参数，并以此进行挤胶工序。其通过流动性模拟和合模控制模型，提前预判树脂在不同工况下的填充行为，解决固定参数导致的填充不均问题。