一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置

本发明涉及一种基于可移动机器人的真空镀膜室激光清洗方法及装置。其中，方法包括以下步骤：在机器人的操作臂末端部署结构光相机、激光器和除尘装置；以真空镀膜室内干埚作为标定物，建立真空室坐标系同机器人基坐标系间的第一映射关系；将真空室内壁拟合为多个不同半径的圆柱面模型，规划结构光相机的采集线路；控制结构光相机沿采集线路进行拍摄，识别出真空室内壁的待清洗表面并更新至圆柱面模型上；规划激光器的清洗路径和位姿，使激光到达待清洗表面时的单位能量保持不变；令机器人沿转换后的清洗路径移动，并驱动操作臂以转换后的位姿控制激光器开展作业。本发明能够实现真空镀膜室激光清洗的远程自动化作业，且能够快速适配不同镀膜机。