一种晶圆制造签核方法及系统

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一种晶圆制造签核方法及系统
申请号:CN202511298003
申请日期:2025-09-11
公开号:CN120975167A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体制造技术领域,具体地说,涉及一种晶圆制造签核方法及系统;通过构建结合芯片设计与生产工艺数据的敏捷签核框架,融合高层抽象分析与高精度工艺建模能力,实现对制造过程的高效验证、实时校验与快速优化,从而保障芯片的可制造性、性能和质量,提升生产良率与签核效率。
技术关键词
签核方法 硬件监视器 晶圆 局部优化算法 多级缓存机制 参数 快照 芯片 数据接口 仿真平台 捕获机制 检查器 数据转换工具 报告 仿真环境 制造执行系统 仿真模型 签核系统
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