一种集成工业大模型的智能制造工艺优化方法及系统

本发明涉及半导体制造技术领域，具体地说，涉及一种集成工业大模型的智能制造工艺优化方法及系统；实现光刻剂量、蚀刻速率、薄膜厚度等工艺参数的动态最优组合求解；实时生成设备操作指令及异常干预策略，提升操作的准确性和及时性；进行跨工序的协同调度及瓶颈预测，优化整体生产流程，最终提高半导体制造的良率、效率和柔性。